UH114シリーズの特長はそのままに、さらに仕上がりのバラツキを極限まで排除し、作業時間の短縮を可能にした半自動式ウェハ／フレーム・マウンター。エッジコンタクトステージにより、非接触での貼り付けも可能です。
特長
- 貼り付けローラーのセミオート化による品質のバラツキ排除と作業時間短縮を
実現 - テープの剝がれ目にできる線を最大限に防止
- デリケートなウェハにダメージを与えない1パスフィルムラミネーション
- エッジコンタクト（非接触）ステージ対応
機種ラインナップ
| Model UH115 | （3〜6インチ対応） | |
| Model UH115-8 | （8インチ対応） | |
| Model UH115-12 | （12インチ対応） |  |
オプション
- 静電気除去設備（イオナイザー）
- エッジコンタクト（非接触）ステージ
- 特殊ステージ（事前にご相談ください）
