Model UH102シリーズ（販売終了品）
独自のグリッドランプ（平面水銀灯）を採用、ムラなく均一にUV照射ができます。特長 使いやすくコンパクトなベンチトップ型 窒素パージ機能付き …
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Model 119
ダイシング後のアプリケーション向けに設計された、セミオートウェハ洗浄装置です。高圧洗浄方式を採用しておりますので、高速で効率的なウェハ洗浄が可能です。更に、リン…
Model 117
ダイシング後のウェハの洗浄に最適な小型ウェハ洗浄装置です。リンス・ブラシ洗浄・乾燥の工程順と作業時間を自由にプログラミングすることができます。特長 …
Model UH130シリーズ
使い易さにこだわり、より高品質なウェハ拡張を可能にしたエアシリンダー駆動タイプのエキスパンダーです。テープに合わせたトルクにより一層正確な拡張を実現。セミオート…
Model UH115シリーズ
UH114シリーズの特長はそのままに、さらに仕上がりのバラツキを極限まで排除し、作業時間の短縮を可能にした半自動式ウェハ／フレーム・マウンター。エッジコンタク…
Model UH114シリーズ
フィルムにテンション掛けながら加圧ローラーで貼り付けますので、気泡を残さず均一に貼り付けることができます。特長 コンパクトなベンチトップ型 貼り…
Model UH110シリーズ
ウェハ表面に貼り付けた保護フィルム（バックグラインドテープ）をウェハバックグラインド後に剥離する装置です。ウェハをステージに置いて、スタートスイッチを押すだけ…
Model UH108シリーズ
ウェハに気泡を残さずバックグラインドテープを貼り付け、ウェハエッジに沿ってテープをカットします。…
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