ウェハ表面に貼り付けた保護フィルム（バックグラインドテープ）をウェハバックグラインド後に剥離する装置です。ウェハをステージに置いて、スタートスイッチを押すだけの簡単操作です。

特長

• コンパクトなテーブルトップ型
• 簡単操作でオペレーターのスキルを必要としません
• スループット　1時間当り200枚
• 180度方向に引き剥がす為、ウェハへストレスを掛けません
• ピーリングテープの交換と剥がした保護テープの廃棄もすばやく行えます
• ステージの温度調節が可能（常温〜70℃）

機種ラインナップ

Model UH110	（3〜6インチウェハでサイズ指定）
Model UH110-8	（3〜8インチウェハでサイズ指定）

オプション

・薄ウェハ用ステージ
・交換用ステージ（サイズが2種類以上ある場合）
・ピーリングテープ