Model 119

UH119 ダイシング後のアプリケーション向けに設計された、セミオートウェハ洗浄装置です。高圧洗浄方式を採用しておりますので、高速で効率的なウェハ洗浄が可能です。更に、リンス・洗浄・乾燥の工程順と作業時間を自由にプログラミングすることができます。