ダイシング後のウェハの洗浄に最適な小型ウェハ洗浄装置です。リンス・ブラシ洗浄・乾燥の工程順と作業時間を自由にプログラミングすることができます。

特長

• LCDタッチパネルにより簡単設定
• 最大10通りの工程を登録できます
• ユーザーの使用したい洗浄剤の注入が可能
• ホットまたはクールの乾燥ができます
• 8インチウェハまたは6インチ用のフィルムフレームまたはグリップリングにマウントされたウェハに対応

オプション

特殊ステージ（事前にご相談ください）

関連機種

Model 118
8インチ用のフィルムフレームまたはグリップリングにマウントされたウェハに対応