使い易さにこだわり、より高品質なウェハ拡張を可能にしたエアシリンダー駆動タイプのエキスパンダーです。テープに合わせたトルクにより一層正確な拡張を実現。セミオートフィルムカッター（オプション）により拡張後の仕上がりもきれいです。

特長

• コンパクトなデスクトップ型
• 常に均一な拡張を得ることができます
• セミオートフィルムカッターにより、余分なフィルムを残さずきれいな仕上がり
• 最大12インチまでのフィルムフレームに対応
• ステージの温度調節が可能（常温〜約90℃）
• ステージ上昇時のチップ飛びからオペレーターを守る安全カバーやステージ下降時の両手押しスイッチなどを標準で装備。

機種ラインナップ

Model UH130	（6インチまでサイズ指定）
Model UH130-8	（8インチまで対応）
Model UH130-12	（12インチまで対応）

オプション

• セミオートフィルムカッター
• グリップリング各種

関連機種

UH132（モーター駆動タイプ）