ウェハに気泡を残さずバックグラインドテープを貼り付け、ウェハエッジに沿ってテープをカットします。
特長
- コンパクトなベンチトップ型
- 貼り付けローラーは加圧調整が可能
- セパレーター巻き取り機構付き
- 簡単位置合わせ（位置決めピンに合わせてウェハを置くだけ）
- 特殊カッターによる高いカット精度（ウェハエッジから130μm以内）
機種ラインナップ
| Model UH108 | （3〜6インチウェハの各サイズ対応） |  |
| Model UH108－8 | （8インチウェハ対応） | |
| Model UH108－12 | （12インチウェハ対応） | |
オプション
- 静電気除去設備（イオナイザー）
- 8インチウェハ⇔12インチウェハ兼用タイプ