Model UH130シリーズ

UH130使い易さにこだわり、より高品質なウェハ拡張を可能にしたエアシリンダー駆動タイプのエキスパンダーです。テープに合わせたトルクにより一層正確な拡張を実現。セミオートフィルムカッター(オプション)により拡張後の仕上がりもきれいです。

特長

  • コンパクトなデスクトップ型
  • 常に均一な拡張を得ることができます
  • セミオートフィルムカッターにより、余分なフィルムを残さずきれいな仕上がり
  • 最大12インチまでのフィルムフレームに対応
  • ステージの温度調節が可能(常温〜約90℃)
  • ステージ上昇時のチップ飛びからオペレーターを守る安全カバーやステージ下降時の両手押しスイッチなどを標準で装備。

機種ラインナップ

Model UH130 (6インチまでサイズ指定)  
Model UH130-8 (8インチまで対応) デモ可
Model UH130-12 (12インチまで対応)  

オプション

  • セミオートフィルムカッター
  • グリップリング各種

関連機種

UH132(モーター駆動タイプ)

製品カテゴリ

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