ウェハーマウンター/フィルム貼り付け装置

半自動式ウェハー/フレーム・フィルムマウンター(フィルム貼り付け装置)

Semiautomatic Wafer/Frame Film Mounter Model UH115 product_uh_115.jpg
フィルムの間に気泡を入れることなく完璧にマウントできます。

常にフィルムにテンションを掛けた状態でフィルムをマウントする独自の構造によりウェハーとフィルム間に気泡を入れる事なく完璧なマウントを実現します。
ペット材フィルムのような硬いフィルムでも問題なく貼り付けることが出来ます。
ULTRON SYSTEMS,INC.のセミオートフィルム(半自動式)マウンターModel UH115はマニュアル式フィルム・マウンターModel UH114より更に厳しい条件をクリアし「より使い易く」「より高品質に」を追求した新型のセミオートフィルムマウンタです。様々な種類のフィルム、特に硬いペット材使用のフィルムでもムラなく均一に貼ることが出来ます。
オプションのエッジコンタクトステージはウェハーをエッジのみで支えウェハーのプリント表面に非接触で貼り付けることができます。


特長

  • セミオート化(半自動化)を実現した事によって、オペレーターによる品質のバラツキを極限まで排除し、また作業時間を短縮させる事ができます。
  • 新開発のテープフィード機構により従来のフィルムマウンターに共通の問題であった「テープの剥がれ目に発生する糊ムラ」をウェハー貼り付け位置から排除しました。
  • デリケートなウェハーに極力ダメージを与えないようローラーで貼り付け後、ウェハーに非接触で元の位置に戻ります。
  • Model UH115はほとんどのテープに対応し、伸縮性の無いPET材でも使用可能です。またウェハーの厚さ・フレームの種類に合わせて調整が可能で、調整は作業位置から容易にでき、条件の変更にも柔軟に対応します。
  • テープ取り付けユニットが前方スライド機構によりテープの交換が容易になりました。

機種

  • Model UH115 3~6インチまで(ステージ交換により各サイズに対応致します。)
  • Model UH115-8 8インチ
  • Model UH115-12 12インチ

標準装備

  • セパレータ巻き取り機構

オプション

  • エッジコンタクトステージ
  • イオナイザー
  • エアフィルター